L’Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL) est une Unité Mixte de Recherche (UMR 5270). L’INL a pour vocation de développer des recherches technologiques multidisciplinaires dans le domaine des micro et nanotechnologies . Sa spécificité est de développer des recherches allant de l’élaboration des matériaux jusqu’aux systèmes, en passant par le dispositif élémentaire. Les domaines d’applications concernent la société numérique, la transition énergétique, l’environnement et la santé globale.
- Direction : Bruno MASENELLI, directeur et Ségolène CALLARD, directrice adjointe.
- Tutelles :
- Domaines d'application
- Information & télécommunications
- Énergie
- Santé & bien-être
Axes de recherche
- Matériaux fonctionnels : intégration monolithique d’oxyde fonctionnels sur Silicium, hétérostructures combinant semiconducteurs et oxydes cristallins, Nanofils III-V, nanostructuration par anodisation électrochimique, hétérostructures III-V pour la photonique, nanoémetteurs et nanosondes, nanocaractérisation, études physiques.
- Électronique : monoélectronique, nanodispositifs en Silicium, dispositifs intégrant des matériaux fonctionnels, architectures de calcul à base de technologies émergentes, systèmes de capteurs distribués, méthodes de conception hétérogène, MEMS, caractérisation électrique à l'échelle micro et nanométrique.
- Photonique et photovoltaïque : cristaux photoniques, intégration nanophotonique, MOEMS III-V, photovoltaïque sur silicium (procédés cellules, couches minces, nanostructures)
- Biotechnologies et santé : nanotechnologies bottom-up, micro-nano-biosystèmes intégrés, capteurs biomédicaux, vêtements intelligents, laboratoire-sur-puce, micro-nano-fluidique.
Principaux équipements
- Plateforme NanoLyon :
- salles blanches
- Technologies génériques : dépôt, lithographie, gravure, recuits, etc.
- Filières technologiques spécifiques : oxydes fonctionnels, semiconducteurs III-V,
- Moyens de calcul et de simulation
- Moyens expérimentaux
- Champ proche
- Caractérisation électrique,
- Optique et électro-optique
