INL - 里昂纳米技术研究所

INL - UMR CNRS 5270

负责人

Bruno MASENELLI,主任。

Ségolène CALLARD,里昂中央理工学院站点负责人兼副主任。

监管机构

  • 里昂中央理工学院
  • 法国国家科研中心
  • 里昂国立应用科学学院
  • 里昂-克洛德·贝尔纳第一大学
  • 里昂高等化学、物理与电子学院

研究方向

里昂纳米技术研究所致力于发展微纳米技术领域的多学科研究,研究领域涵盖 4 大主题:

  • 功能材料:功能氧化物与硅的单片集成、半导体与晶体氧化物异质结、III-V 族纳米线、经过阳极氧化处理的纳米结构、电化学阳极氧化法制备的纳米结构、光子学 III-V 族异质结、纳米发射体与纳米探针、纳米表征、物理研究。
  • 电子技术:单电子、纳米硅器件、功能材料集成装置、基于新兴技术的计算架构、传感器分配系统、异质结构设计方法、MEMS、微观与纳米级层面的电气特性与表征。
  • 光子与光伏技术:光子晶体、纳米光子集成、III-V 族微光机电系统 (MOEMS)、硅型光伏系统(电池组件、薄膜组件、纳米结构)
  • 生物技术与健康:Bottom-up(从小到大)纳米技术、集成微纳米生物系统、生物医学传感器、智能服装、芯片实验室、微纳米射流。

实验室共有 245 名员工,其中有 130 名固定员工。

主要实验设施

里昂纳米技术中心

  • 2012 年在 CPER I@L-NanoLyon 项目框架下投入新基础设施。
  • 1 200 m²,其中有 600 m² 的无尘室。
  • 政府部门认可的本地平台。
  • 通用技术:沉积、光刻、蚀刻、退火等。
  • 特别技术领域:功能氧化物、III-V 族半导体、硅、光子学、光伏、生物芯片、微流控、聚合物等。

计算与仿真设备

  • 高性能服务器。
  • 商业软件或里昂纳米技术研究所开发的软件

INL - 里昂纳米技术研究所 INL - 法国国家科研中心联合科研单位 5270

试验设备

  • 近场:形态学原子力显微镜 (AFM)、电气、液体、扫描隧道显微镜 (STM)、扫描近场光学显微镜 (SNOM)。
  • 电气特性与表征:在低温和高温下 (4K-600K),静态 (I-V)、中频 (C-V, I-t)、高频(参数 S)。
  • 分析 (SIMS)、表面 (XPS-XPD, STM)、结构 (TEM, DRX)。
  • 光学与电光学(光致发光、光反射、电致发光)。

应用领域

应用领域涵盖了重大经济领域:

  • 信息和通信技术:电子和光子技术的组件和回路,
  • 光伏太阳能和环境、能源回收微系统
  • 生物技术与健康:生物芯片、微实验室、传感器

地点

埃居利、维勒班

成员

1 个卓越实验室 (LabEx)

IMUST - 多层次科技研究所