Direction

Catherine BRU-CHEVALLIER, Directrice.
Christian SEASSAL, Responsable de site Centrale Lyon et Directeur adjoint.

Tutelles

  • École Centrale de Lyon
  • CNRS
  • INSA de Lyon
  • Université Claude Bernard Lyon 1
  • CPE

Axes de recherche

L’INL développe des recherches technologiques multidisciplinaires dans le domaine des micro et nanotechnologies, autour de 4 grands axes thématiques :

  • Matériaux Fonctionnels : intégration monolithique d’oxyde fonctionnels sur Silicium, hétérostructures combinant semiconducteurs et oxydes cristallins, Nanofils III-V, nanostructuration par anodisation électrochimique, hétérostructures III-V pour la photonique, nanoémetteurs et nanosondes, nanocaractérisation, études physiques.
  • Électronique : monoélectronique, nanodispositifs en Silicium, dispositifs intégrant des matériaux fonctionnels, architectures de calcul à base de technologies émergentes, systèmes de capteurs distribués, méthodes de conception hétérogène, MEMS, caractérisation électrique à l’échelle micro et nanométrique.
  • Photonique et photovoltaïque : cristaux photoniques, intégration nanophotonique, MOEMS III-V, photovoltaïque sur silicium (procédés cellules, couches minces, nanostructures)
  • Biotechnologies et santé : nanotechnologies bottom-up, micro-nano-biosystèmes intégrés, capteurs biomédicaux, vêtements intelligents, laboratoire-sur-puce, micro-nano-fluidique.

L’effectif total du laboratoire est de 245 personnes, dont 130 personnels permanents.

Installations expérimentales principales

  • Centrale de technologie NanoLyon :
    • De nouvelles infrastructures depuis 2012, dans le cadre du projet CPER I@L-NanoLyon
    • 1200m², dont 600m² de salles blanches
    • Une plateforme de proximité reconnue par le ministère
    • Technologies génériques : dépôt, lithographie, gravure, recuits, etc.
    • Filières technologiques spécifiques : oxydes fonctionnels, semiconducteurs III-V, silicium, photonique, photovoltaïque, biopuces, microfluidique, polymères, etc.
  • Moyens de calcul et de simulation :
    • Des serveurs performants.
    • Des logiciels commerciaux ou développés à l’INL
  • Moyens expérimentaux :
    • Champ proche : AFM morphologique, électrique, liquide, STM, SNOM
    • Caractérisation électrique : statique (I-V), moyenne fréquence (C-V, I-t), haute fréquence (paramètres-S), en basse et haute température (4K-600K)
    • Analytique (SIMS), surfaces (XPS-XPD, STM), structurale (TEM, DRX)
    • Optique et électro-optique (photoluminescence, photoréflectance, électroluminescence)

Domaines d’application

 Les domaines d’application couvrent de grands secteurs économiques :

  • Technologies de l’information et de la communication : composants et circuits pour l’électronique et la photonique,
  • Énergie et environnement solaire photovoltaïque, microsystèmes pour la récupération d’énergie
  • Biotechnologies et santé : biopuces, microlaboratoires, capteurs

Localisation

Écully, Villeurbanne.

Membre de

  • Institut Carnot « Ingénierie@Lyon »
  • 1 Laboratoire d’Excellence (LABEX)
    • IMUST - Institut des Sciences et Technologies Multi-échelles

En savoir plus : Le site du laboratoire INL