Institut des Nanotechnologies de Lyon - Site ECL INL
UMR CNRS 5270 - ECL INSA UCBL
Sciences pour l'ingénieur
- Secrétariat(s) :
- Nicole Durand
- Adresse :
- Ecole Centrale de Lyon
Bâtiment F7
36, Avenue Guy de Collongue
69134 ECULLY Cedex - Téléphone :
- 33 (0)4 72 18 60 43
- Fax :
- 04 78 43 35 93
- Adresse mail :
- nicole.durand@ec-lyon.fr
- Site internet :
- http://inl.ec-lyon.fr/
Organisation
Directeur : Guy HOLLINGER
Responsable du site ECL : Ian O'CONNOR, directeur adjoint de l'INL
L'Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL) UMR 5270 CNRS-ECL-INSA-UCBL N° 5270 a été créé le 1er janvier 2007 par la fusion du Laboratoire d'Electonique Optoélectronique et Microsystèmes de l'ECL (LEOM), du Laboratoire de Physique de la Matière de l'INSA (LPM), et du Laboratoire d'Electronique Nanotechnologies et Capteurs de l'UCBL (LENAC).
Equipements
L'INL dispose d'une Centrale de Technologie permettant la réalisation de composants microélectroniques et optoélectroniques, de microsystèmes et de biopuces.
Principaux équipements :
une salle blanche équipée de lithographie optique et électronique, de moyens de métallisation, d'un réacteur de gravure ionique réactive et d'une plate-forme pour le micro-usinage chimique. deux réacteurs d'épitaxie par jets moléculaires pour III-V et deux réacteurs plasma pour le dépôt des diélectriques. équipements de caractérisation (électrique, optique, structurale, surfaces). moyens de calcul
Coopérations industrielles
Valorisation et partenariats industriels
STMicroelectronics, CEA-LETI, Inpact, SOITEC, Alcatel, ATMEL 7 brevets
Chiffres clés
35 permanents 25 doctorants et post doc Budget : 1,4 M€
Publications (moyenne annuelle):
25 publications dans des revue à comité de lecture 40 congrès internationaux 7 thèses de doctorat
Recherche
d'un laboratoire